高精度的耦合YZ平臺(tái),可在Y和Z反向運(yùn)動(dòng)長(zhǎng)行程
- Y軸行程最大可至200mm
- Z軸行程最大可至50mm
- 低運(yùn)動(dòng)負(fù)載(Z軸定子不會(huì)隨著運(yùn)動(dòng)而成為移動(dòng)負(fù)載)
- Y和Z方向的超高加速度